non-silicide的poly电阻?

hegyu

我们知道有silicide、salicide的工艺，
所以有non-salicide的poly电阻，
但是不是没听说有non-silicide的poly电阻?

yiting

salicide是一种具体的silicide实现方式
polycide是另一种
下面链接有详细解释
http://hi.baidu.com/lixu1113/blo ... 15f70a908f9d6c.html

qingti

salicide 就是self-aligned silicide。和silicide 相比只是工艺流程上的改进而已，电阻物理上的性质没有什么区别。现在绝大多数主流工艺都是用salicide的。