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[求助] 关于金属覆盖率

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发表于 2024-4-28 13:48:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教大家一个问题,为什么layout中对金属覆盖率有要求?覆盖率的高低对性能有什么影响?

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发表于 2024-4-28 13:49:05 | 显示全部楼层
你说的是金属密度吧,金属密度一般foundry 都会给出一个范围值得,主要是出于对化学机械研磨(CMP )的影响考虑

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发表于 2024-4-28 13:50:12 | 显示全部楼层
CMP研磨工艺,metal密度不够会造成金属碟化和金属层侵蚀效应,影响研磨效果而造成metal厚度不均匀,影响可靠性。

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发表于 2024-4-28 13:53:05 | 显示全部楼层

还有就是密度太高的话,可能会造成过刻蚀,不该刻蚀的被刻蚀掉了,太低又可能造成刻蚀不够,有的没有刻蚀掉
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